單晶爐熱場
在太陽能光伏行業,單晶爐熱場的好壞直接關系到單晶硅的質量,合格的熱場能夠生長出高質量的單晶,因此創造良好的熱場條件,在直拉單晶工藝上有非常重要的因素。
在太陽能光伏行業,單晶爐熱場的好壞直接關系到單晶硅的質量,合格的熱場能夠生長出高質量的單晶,因此創造良好的熱場條件,在直拉單晶工藝上有非常重要的因素。石墨是單晶生長的載體,石墨在直拉單晶生長爐中以高純石墨和等靜壓石墨加工件為主。
根據實際情況的需要,熱場的大小根據石英坩堝的直徑大小來劃分的,目前我國熱場從φ12"~φ28"都有,一般情況下φ18"~φ22"居多。
我們在這里所講的單晶爐的熱系統就是所謂的熱場,,熱場一般包括壓環、保溫蓋、上中下保溫罩、(三瓣式)石墨坩堝、坩堝托桿、坩堝托盤、電極、加熱器、導流筒、石墨螺栓,未來防止漏硅,爐底、金屬電極、托桿都設置了保護板和保護套。
石墨加熱器
加熱器是熱場中很重要的部件,是直接發熱體,溫度最高的時候可以達到1600度以上。常見的加熱器有三種形狀,筒狀、杯狀、螺旋狀。石墨接觸到的單晶硅加熱器形狀一般都是直筒狀的。一般情況下,加熱器采用的高純石墨加工。
石墨電極的作用平穩固定加熱器并通過他歲加熱器輸送電流。因此在電極要厚重,結實耐用、表面要光滑平穩,保證良好的接觸面,通電時不打火,石墨電極也是有高純石墨加工的。
坩堝托桿、坩堝和托盤共同構成了石墨坩堝的支撐體,要求和下軸結合牢固,對中性良好在下軸進行轉動時,托桿及托盤的擺渡小于等于0.5mm石墨支撐體的高度是可以調節的。
保溫罩分為上、中、下保溫罩,保溫罩是由一個保溫筒外面包裹石墨碳氈而成,石墨碳氈的包裹的層數根據情況而定。下保溫罩組成了底部的保溫系統,它作用是加強鍋底保溫,提高堝底溫度,減少熱量損失。
保溫蓋有保溫上蓋、保溫碳氈和保溫下蓋組成,即兩層環狀石墨之間夾一層石墨碳氈組成。導流筒主要是未來控制熱場的溫度梯度和引導氬氣流。
石墨壓環由幾截弧形構成的圓形環狀石墨件,放置在蓋板與爐壁接觸處,是為了防止熱量和氣體從壁爐與蓋板的縫隙間的通過。