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石墨舟皿去垢前的檢查工作有哪些

發(fā)布作者:jcadmin      發(fā)布時(shí)間:2024年01月22日

 石墨舟皿去垢前的查看作業(yè):
    石墨舟在使用過(guò)程中接近100次時(shí)需求操作人員及時(shí)查看鍍膜情況,呈現(xiàn)鍍膜異常,需求進(jìn)行清洗供認(rèn)。
    硅片在石墨舟內(nèi)正常鍍膜色彩為藍(lán)色,片內(nèi)呈現(xiàn)非藍(lán)色、多種色彩或片與片間色彩差異較大,都為鍍膜異常,需求工藝供認(rèn)異常原因。
    由工藝人員對(duì)舟的鍍膜情況進(jìn)行剖析后,供認(rèn)石墨舟是否需求清洗以及卡點(diǎn)是否需求替換,出產(chǎn)將需清洗的舟交由設(shè)備人員清洗。
    石墨舟供認(rèn)需求清洗后,由設(shè)備、出產(chǎn)、工藝三方對(duì)石墨舟進(jìn)行查看。

石墨舟